연구개발 성과
반도체용 CMP Pad, 박리액, 식각액, 세정액, 오버코트 분야에서
국내 49건 및 해외 48건, 총 97건의 특허 (등록/출원)를 확보하며
반도체 제조 공정용 고부가가치 화학소재 기술 경쟁력을 강화하고 있습니다.
특허 출원 현황(2025년 현재)
| 구분 |
국내 |
해외 |
합계 |
| CMP Pad |
11 |
24 |
35 |
| Chemical |
1 |
2 |
3 |
| 합계 |
12 |
26 |
38 |
특허 등록 현황(2025년 현재)
| 구분 |
국내 |
해외 |
합계 |
| CMP Pad |
18 |
13 |
31 |
| Chemical |
19 |
9 |
28 |
| 합계 |
37 |
22 |
59 |